ラムリサーチ

Lam Research Corporation は、設計、生産、販売、修理、継続的なメンテナンスを含む、半導体プロセスに不可欠な装置の著名なサプライヤーです。これらの洗練されたシステムは、集積回路の作成の基礎となります。同社の広範な製品カタログには、さまざまな蒸着技術が掲載されています。タングステンのメタライゼーションについては、コンフォーマルな膜を堆積する ALTUS システムを提供しています。SABRE 製品は、銅の相互接続遷移に不可欠であり、銅ダマシンの製造を可能にする電気化学堆積に優れています。SOLA は膜処理に紫外線熱処理を利用し、VECTOR はプラズマ化学蒸着 (CVD) および原子層堆積 (ALD) ソリューションを提供します。さらに、SPEED は高密度プラズマ CVD 製品でギャップフィル用途に対応し、Striker は誘電体膜の枚葉式原子層堆積用に設計されています。堆積を超えて、Lam Research は包括的なエッチング ツール スイートを提供しています。Flex は誘電体エッチング アプリケーション向けに設計されており、Kiyo は導体エッチング プロセスを担当し、Syndion はシリコン貫通ビア エッチングを専門とし、Versys 金属製品は金属エッチング プロセスに使用されます。同社の製品は、ベベル洗浄を通じてダイの歩留まりを向上させる Coronus のような特殊なソリューションにも拡張されています。さまざまなウェーハ洗浄要件に対応するため、Lam Research は Da Vinci、DV-Prime、EOS、SP シリーズなどの複数の製品ラインを提供しています。さらに、Metryx 質量計測システムは、半導体ウェーハ製造に正確なインライン質量測定機能を提供します。Lam Research は世界の半導体産業にサービスを提供し、その技術とサービスを米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾、その他の国際市場に展開しています。1980 年に設立された同社は、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。