芝浦メカトロニクス

芝浦メカトロニクスは、当社と子会社9社で、半導体製造装置やFPD製造装置、真空応用装置、レーザ応用装置を扱うファインメカトロニクス事業を主軸に置く。同事業は売上の59.3%を占め(2026年3月期)、子会社の芝浦エレテック株式会社や台湾・韓国・上海の現地法人が洗浄装置やエッチング装置、剥離装置などを製造・販売する。メカトロニクスシステム事業は35.7%を占め、子会社の芝浦プレシジョン株式会社などがダイボンディング装置やスパッタリング装置、精密部品製造装置を手掛ける。流通機器システム事業は子会社の芝浦自販機株式会社が自動販売機・自動券売機を扱い2.9%を占め、残る2.1%は当社自身が行う不動産賃貸・管理事業が占める。