ＫＯＫＵＳＡＩ　ＥＬＥＣＴＲＩＣ

KOKUSAI ELECTRICは、連結子会社7社とともに半導体製造装置事業を単一セグメントで展開し、半導体製造の前工程のうち「成膜」と「熱処理」の各工程向け装置を主力製品とする。成膜工程ではLP-CVD製品に加えALD対応製品を、熱処理工程では熱酸化やアニール、拡散、トリートメントに対応する装置を提供する。デバイス構造の三次元化に伴う成膜プロセスの生産性低下という課題に対し、高難易度成膜と高生産性を両立するバッチALD技術で応え、バッチ成膜装置や枚葉プラズマトリートメント装置「MARORA」を主要製品とする。国内子会社の国際電気セミコンダクターサービスは、膜の抵抗値を測定する検査装置や洗浄装置用の超音波発振器ユニットを製造・販売している。