サムコ

サムコは、半導体や電子部品向けの薄膜形成・加工装置を製造・販売する。反応性気体を基板に供給して薄膜を作るCVD装置は、独自のLS-CVD装置で引火爆発性ガスを使わず低温で均一な薄膜形成を可能にし、2015年からは原子層堆積装置も手掛ける。微細加工用のエッチング装置は独自のトルネードICPで高密度プラズマを安定生成し、洗浄装置は水蒸気を用いたAqua Plasma洗浄装置で金属酸化膜の還元や有機汚れの洗浄を安全に行う。用途は化合物半導体や シリコン半導体、電子部品、ヘルスケア関連まで及び、製造は協力会社への委託と自社の検査体制で仕上げ、海外は台湾の現地法人が保守サービスを担う。