昭和真空

昭和真空は、真空中で基板に薄膜を形成する真空蒸着装置やスパッタリング装置を中心とした真空技術応用装置事業と、その構成部品・付属品の販売、改造工事、修理を担うサービス事業を子会社3社とともに営む。真空技術応用装置事業が75.6%、サービス事業が24.4%を占める(2026年3月期)。装置は水晶デバイス装置、光学装置、電子部品・その他装置に分かれ、当社のほか子会社の昭和真空機械(上海)が製造・販売、昭和真空機械貿易(上海)が販売を担う。株式会社アルバックを中心とする企業集団に属し、水晶デバイスや光学デバイス、電子部品メーカー向けの薄膜形成装置で棲み分けている。